RESUMO: O presente estudo descreve os processos de obtenção de Filmes Finos utilizados na fabricação dos sensores táteis piezoresistivos. Os sensores flexíveis tem crescente aplicação na indústria e em pesquisas científicas. Através de um estudo bibliográfico e visitas técnicas em instituições especializadas em tecnologias de filmes finos, descreve-se os processos de obtenção, materiais e as principais técnicas utilizadas no processo produtivo. Os processos de CVD - Chemical Vapor Deposition e PVD - Physical Vapor Deposition são aplicados na obtenção dos filmes finos dos principais sensores táteis disponíveis no mercado. As instalações de vácuo são de grande importância neste tipo de fabricação, e são montadas conforme as necessidades específicas para a obtenção das camadas construtivas.

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ABSTRACT: The present study describes the processes for obtaining Thin Films used in the manufacture of piezoresistive tactile sensors. Flexible sensors have increasing application in industry and scientific research. Through a bibliographical study and technical visits to institutions specialized in thin film technologies, the obtaining processes, materials and the main techniques used in the production process are described. CVD - Chemical Vapor Deposition and PVD - Physical Vapor Deposition processes are applied to obtain thin films for the main tactile sensors available on the market. Vacuum installations are of great importance in this type of manufacturing, and are assembled according to the specific needs for obtaining the constructive layers.